报告题目：驾驭声波——用于可穿戴传感器和声流体的柔性薄膜声波
Riding the acoustic waves:flexible thin film acoustic waves for wearable sensors and acoustofluidics
报告人：Prof. YongQing Fu
讲座时间：2018年9月17日（星期一）下午15:00-17:00
讲座地点：航空楼D座2楼 微系统工程系会议室
邀请人：何洋副教授
承办学院：机电学院
联系人：卢宇超
联系电话：18829041036
报告简介：
薄膜压电材料已被用于制备表面声波（SAW）和薄膜体声波（FBAR）器件，这些器件已应用于生物样品制备（分选、混合、泵送、雾化和分配）以及气体传感和生物传感研究。本讲座将重点讨论使用压电薄膜（主要是ZnO和AlN）制造的声波器件，该声波器件被用于声波传感和微流体研究中。本次讲座将重点介绍在聚合物和金属箔上实现高性能薄膜声波器件的最新工作，这些器件有可能与包括CMOS集成电路在内的各种基板上的微流体和传感技术相结合，从而使可穿戴和柔性生物检测芯片成为可能。
Thin film piezoelectric materials have been used to fabricate surface acoustic wave (SAW) and film bulk acoustic wave (FBAR) devices, which have been used for bio-sample preparation (sorting, mixing, pumping, nebulization and dispensing) as well as gas sensing and bio-sensing. This talk will focus on acoustic wave devices fabricated using piezoelectric thin films (mainly ZnO and AlN) for acoustic wave sensing and microfluidic applications. The talk will be focused more on recent work of high performance thin film acoustic wave devices achieved on polymer and metallic foils, which have the potential to be integrated with other microfluidic and sensing technology on a variety of substrates including CMOS integrated circuits to make novel lab-on-chip for bio-detection for wearable and flexible applications.
报告人简介：
YongQing Fu教授目前在纽卡斯尔的Northumbria大学工作，他博士毕业于新加坡的南洋理工大学，在剑桥大学做过博士后，在爱丁堡的郝瑞瓦特大学做过讲师，以及在格拉斯哥的西苏格兰大学做过副教授。他在微纳米材料技术、压电MEMS器件、智能材料、薄膜表面声波微流体及芯片以及薄膜形状记忆合金和聚合物研究等领域有很高的国际声望。目前已发表著作两部,SCI收录期刊论文数超过350篇(SCI H-index为42，SCI 总引用次数>6800次),发表期刊包括Progress in Materials Science, Nature Communications,Nano Letters,Nano Energy等。YongQing Fu教授在微系统器件设计、制备及测试以及薄膜技术方面也有丰厚的经验。
